[实用新型]一种改进型化学机械研磨液容器有效
| 申请号： | 200720071947.7 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN201077028Y | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种改进型化学机械研磨液容器，其包括：容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，所述的入液管道为环形结构，所述环形结构入液管道上设置有若干朝向容器内壁的喷口，所述环形结构入液管道高于容器中液面，所述的环形结构入液管道和容器横截面平行。本实用新型的改进型化学机械研磨液容器，由于其入液管道结构的改进，防止了研磨液在容器内壁形成结晶颗粒，保证了研磨液各化学成分的合理比例，保证了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 化学 机械 研磨 容器 | ||
【主权项】：
1.一种改进型化学机械研磨液容器，它包括：容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，其特征在于：所述的在容器本体内部的这部分入液管道为环形结构，并且在这部分环形结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口。
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