[发明专利]抗蚀溶液以及使用其制作薄膜图案和液晶显示器件的方法有效
| 申请号： | 200710195638.5 | 申请日： | 2007-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101196684A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/84;H01L29/786;H01L27/12;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制作薄膜图案的方法，其能够提高橡皮布的寿命、减少成本并提高形成薄膜图案的可靠性。所述方法包括将抗蚀溶液注入到印刷辊上的橡皮布中，其中所述抗蚀溶液包括印刷溶剂，所述印刷溶剂满足条件6＞δ溶剂或δ溶剂＞11，其中δ溶剂是所述溶剂的溶解参数，或满足条件6＜δ溶剂＜11并且μ＜2(D)，其中μ为所述溶剂的偶极矩；旋转所述印刷辊以将所述抗蚀溶液均匀涂覆在所述橡皮布上；在印版上滚动涂覆有所述抗蚀溶液的印刷辊以将对所述抗蚀溶液构图，由此形成抗蚀图案；将所述抗蚀图案从所述印刷辊转印至基板；硬化所述抗蚀图案；并且使用所述抗蚀图案在所述基板上形成所需薄膜图案。 | ||
| 搜索关键词： | 溶液 以及 使用 制作 薄膜 图案 液晶显示 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀溶液，包括：基聚合物；印刷溶剂，其满足条件6＞δ溶剂或δ溶剂＞11，其中，δ溶剂为该溶剂的溶解参数，或满足条件6＜δ溶剂＜11并且μ＜2(D)，其中μ为偶极矩；载体溶剂；和表面活性剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG.菲利浦LCD株式会社，未经LG.菲利浦LCD株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710195638.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
