[发明专利]液滴喷出装置、重量测定方法、液状体的喷出方法有效
申请号: | 200710181704.3 | 申请日: | 2007-10-24 |
公开(公告)号: | CN101168324A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 神山信明 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/04 | 分类号: | B41J2/04;B41J2/165;G02B5/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够适当测定从搭载于多个滑架上的多个喷头喷出的液状体的重量的液滴喷出装置、重量测定方法、液状体的喷出方法、滤色器的制造方法。液滴喷出装置(1)具有:在Y轴方向排列的多个滑架单元(21);设于滑架单元(21)的每一个上的喷头单元(61);承接搭载在各个喷头单元(61)上的多个液滴喷头喷出的液状体,对其重量按每一个液滴喷头进行测定的重量测定机构(91);使作为工件的基板(W)和重量测定机构(91)分别独立地在X轴方向移动的X轴工作台(22);使多个滑架单元(21)分别独立地在Y轴方向移动的Y轴工作台(23)。通过X轴工作台(22)使各滑架单元(21)维持绘图区域(31)的排列状态而配置在重量测定区域(33)上。 | ||
搜索关键词: | 喷出 装置 重量 测定 方法 液状 | ||
【主权项】:
1.一种液滴喷出装置,使工件和喷头相对置地相对移动而进行主扫描,伴随该主扫描使液状体形成液滴从所述喷头向所述工件上喷出而绘图,其特征在于,具有:搭载多个所述喷头的多个滑架;测定所述喷头的每一个喷出的液状体的重量的重量测定机构;使所述重量测定机构和所述工件各自独立地在所述主扫描的方向上移动的主扫描移动机构,其中,所述重量测定机构沿绘图区域配置在与所述主扫描的方向垂直的方向上,所述绘图区域是可通过搭载在所述多个滑架上的所述多个所述喷头喷出而绘图的绘图区域。
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