[发明专利]液滴喷出装置、重量测定方法、液状体的喷出方法

说明书

技术领域

本发明涉及具有测定喷出的液状体的重量的重量测定机构的液滴喷出装置、重量测定方法、液状体的喷出方法、滤色器的制造方法。

背景技术

作为具有测定喷出的液状体的重量的重量测定机构的液滴喷出装置已知这样的液滴喷出装置(专利文献1)，其具有：对工件喷出液滴的至少一个液滴喷头；为测定液滴喷头的液滴的喷出量而接收液滴喷头喷出的液滴的喷出量测定用承液部。另外，也提出具有收容该液滴喷出装置，可调整其内部的环境条件的室腔的液滴喷出系统。

上述液滴喷出系统中，液滴喷头对喷出量测定用承液部喷出液滴时，将室腔内的环境条件管理控制成与对工件喷出液滴时进行的管理同样的环境条件。由此，能够预先准确测定液滴的喷出量，将该喷出量调整为适当的值。

另一方面，也已知随着基板的大型化，具有多个搭载多个液滴喷头的喷头单元(或滑架)的液滴喷出装置(专利文献2)。

专利文献1：(日本)JP2004-209429(特開2004-209429号公報)

专利文献2：(日本)JP2005-254797(特開2005-254797号公報)

对具有上述多个喷头单元的以往的液滴喷出装置适用上述液滴喷出系统的情况下，需要管理重量测定时或对工件喷出液滴进行绘图时的环境条件的大型的室腔。在该条件下，根据测定液滴的重量的重量测定机构和各喷头单元如何配置，在重量测定时和实际的绘图时，难以使其环境条件和液滴喷头的驱动条件相同。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供一种能够适当测定从搭载于多个滑架上的多个喷头喷出的液状体的重量的液滴喷出装置、重量测定方法、液状体的喷出方法、滤色器的制造方法。

本发明的液滴喷出装置，使工件和喷头相对置地相对移动而进行主扫描，伴随该主扫描使液状体形成液滴从喷头向工件上喷出而绘图，其特征在于，具有：搭载多个喷头的多个滑架；测定喷头的每一个喷出的液状体的重量的重量测定机构；使重量测定机构和工件各自独立地在主扫描的方向上移动的主扫描移动机构，其中，重量测定机构沿绘图区域配置在与主扫描的方向垂直的方向上，绘图区域是可通过搭载在多个滑架上的多个喷头喷出而绘图的绘图区域。

根据该结构，具有使重量测定机构和工件各自独立地在主扫描的方向上移动的主扫描移动机构，重量测定机构沿绘图区域配置在与主扫描的方向垂直的方向上，绘图区域是可通过搭载在多个滑架上的多个喷头喷出而绘图的绘图区域。因此，使用主扫描移动机构，则能够使排列在绘图区域的状态下的多个滑架和重量测定机构相对配置。因而，实际上不改变对工件喷出液状体时的多个滑架的排列就能够测定从搭载的多个喷头喷出的液状体的重量。即，与分割多个滑架而进行重量测定的情况相比，能够提供具有实际上喷出液状体而绘图的滑架的排列状态下能够适当测定液状体的重量的重量测定机构的液滴喷出装置。

上述重量测定机构对应多个滑架至少具有与其同数的重量测定装置。根据该结构。根据该结构，滑架的数量和重量测定装置的数量至少是相同数量。因此，与不到相同数量的情况相比，至少能够进行使多个滑架和重量测定机构相对移动，使测定对象的喷头和重量测定装置相对配置的动作。因而，能够有效地进行重量测定。

上述重量测定机构上设有第一液滴承接部和第二液滴承接部，第一液滴承接部设于多个滑架的每一个上，承接从至少一个喷头喷出的液滴，第二液滴承接部对应搭载在多个滑架上的多个喷头的配置而包围第一液滴承接部进行设置。根据该结构，对第一液滴承接部从测定对象的喷头喷出液状体进行重量测定，另一方面，能够从测定对象以外的喷头对第二液滴承接部喷出液状体。因此，与间歇驱动多个喷头对喷出的液状体的重量进行测量的情况相比，能够接近大致同时驱动多个喷头的实际的液状体的喷出绘图状态，而适当测定从测定对象的喷头喷出的液状体的重量。

本发明的重量测定方法，测定从搭载在多个滑架上的多个喷头喷出的液状体的重量，其特征在于，具有：配置工序，使多个滑架维持绘图区域的排列状态而配置在重量测定区域；测量工序，使液状体作为液滴从搭载在多个滑架上的各喷头喷出，测量各喷头的每一个喷出的液状体的重量。

根据该方法，配置工序中，对重量测定区域维持绘图区域的排列状态而配置多个滑架。因此，与分割多个滑架而配置在重量测定区域的情况相比，能够接近实际喷出液状体而绘图的状态适当测定液状体的重量。