[发明专利]一种控制射频放电系统直流偏压的装置和方法有效
| 申请号： | 200710178857.2 | 申请日： | 2007-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101453823A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 赵祎;刘利坚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 琦;王诚华 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种控制射频放电系统直流偏压的装置和方法，包括直流偏压检测模块、模式选择模块、直流偏压控制模块和射频功率提供模块。模式选择模块接收参量和参量类型，如果参量类型为表示电压的类型，则直流偏压控制模块根据电压相关表征参量、检测出的直流偏压值计算出功率值，射频功率提供模块根据计算出的功率值提供功率。如果参量类型为表示功率的类型，则射频功率提供模块根据功率相关表征参量提供功率。应用本发明方案，由于模式选择模块可以利用判断参量类型的结果来确定是进行功率控制法还是电压控制法，从而可以灵活地在两种不同的直流偏压控制方法中进行选择，达到兼容的目的，更加有利于工艺操作人员的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 射频 放电 系统 直流 偏压 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种控制射频放电系统直流偏压的装置，其特征在于，该装置包括模式选择模块、直流偏压检测模块、直流偏压控制模块和射频功率提供模块；所述模式选择模块，用于接收包括参量和参量类型的输入信息；判断参量的类型，如果参量类型为表示与功率相关的类型，则将参量作为功率相关表征参量输出给射频功率提供模块；如果参量类型为表示与电压相关的类型，则将参量作为电压相关表征参量输出给直流偏压控制模块；所述直流偏压检测模块，用于检测放电系统电极的直流偏压，将检测到的直流偏压值输出给直流偏压控制模块；所述直流偏压控制模块，用于接收来自模式选择模块的电压相关表征参量，接收来自直流偏压检测模块的直流偏压值；利用所述直流偏压值和电压相关表征参量并根据直流偏压控制算法计算出功率值，将计算出的功率值输出给射频功率提供模块；所述射频功率提供模块，用于在接收到来自模式选择模块的功率相关表征参量时，根据功率相关表征参量向放电系统的电极提供功率；在接收到直流偏压控制模块计算出来的功率值时，根据计算出的功率值向放电系统的电极提供功率。
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