[发明专利]外观检查装置及外观检查方法无效
| 申请号： | 200710161657.6 | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101158649A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 横田敦俊 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种外观检查装置及外观检查方法，该外观检查装置可简单且快速地进行调节。外观检查装置(1)具有将晶片(W)保持为可绕XYZ方向及Z轴自由旋转的晶片保持部(4)，用于观察晶片(W)周缘部的周缘摄像部(5)接近地配置。在控制外观检查装置(1)的计算机(41)中具有：按照菜单来执行进行晶片(W)周缘部的外观检查的处理的检查控制部(51)；和插入处理部(52)，其在检查者选择了插入处理时，中断按照菜单的检查，并从滚动条(71、72)接收检查条件的变更。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种外观检查装置，其特征在于，在该外观检查装置(1)中具有：将晶片(W)保持为可自由旋转的晶片保持部(4)；取得晶片的周缘部的放大像的周缘摄像部(5)；插入处理部(52)，其在按照预先设定的菜单来进行晶片的周缘部的外观检查的中途，使按照菜单的检查中断，并执行插入处理；检查条件设定部，其能够按检查条件的每个项目输入检查条件的变更，以便能够作为插入处理以与菜单不同的检查条件进行检查；以及检查者为了向上述检查条件设定部输入检查条件而使用的输入装置(42、43)。
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