专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]外观检查装置-CN200810087937.1有效
  • 横田敦俊;仓田俊辅 - 奥林巴斯株式会社
  • 2008-03-25 - 2008-10-01 - H01L21/66
  • 本发明提供外观检查装置,外观检查装置具有对晶片的周缘部进行照明的上部照明、下部照明、侧部照明、一对斜照明、一对棒照明,明亮地对晶片的周缘部进行照明。在上部照明中形成有间隙,通过该间隙来投射反射照明部的照明光。反射照明部的照明光由第1反射镜折回,对晶片的周缘部进行照明。根据需要使第2反射镜共同工作,由此改变照明位置。周缘部的像利用与反射照明部同轴配置的摄像部来取得。
  • 外观检查装置
  • [发明专利]外观检查装置及外观检查方法-CN200710161657.6无效
  • 横田敦俊 - 奥林巴斯株式会社
  • 2007-09-27 - 2008-04-09 - G01N21/892
  • 本发明提供一种外观检查装置及外观检查方法,该外观检查装置可简单且快速地进行调节。外观检查装置(1)具有将晶片(W)保持为可绕XYZ方向及Z轴自由旋转的晶片保持部(4),用于观察晶片(W)周缘部的周缘摄像部(5)接近地配置。在控制外观检查装置(1)的计算机(41)中具有:按照菜单来执行进行晶片(W)周缘部的外观检查的处理的检查控制部(51);和插入处理部(52),其在检查者选择了插入处理时,中断按照菜单的检查,并从滚动条(71、72)接收检查条件的变更。
  • 外观检查装置方法

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