[发明专利]非接触式运送装置

摘要

本发明公开一种非接触式运送装置。具有供给端口(46)的内部构件(14)被安装到壳体(12)的内部，壳体(12)与内部构件(14)通过连接螺栓(16)连接到一起。空气被输送到内部构件(14)的供给端口(46)，并经连通通道(50)被引流到环形通道(48)中。而后，空气被从与环形通道(48)连通的多个引出孔(64)沿旋流方向向外引流到面对着工件(W)的环形凹槽(62)中。此外，通过使空气沿环形凹槽(62)流动，可将工件保持在相对于内部构件(14)的支持表面(40)不接触的状态下，其中，环形凹槽的横截面被制成大体上为梯形。

主权项

1.一种非接触式运送装置，其包括：主体(12、14)；形成在所述主体(12、14)内部的通道(48)，从空气供给部分(46)供给的空气流经该通道；支持表面(40)，其被布置在所述主体(12、14)的端部上，以便于面对工件(W)；环形的涡流室(68)，其被布置在所述支持表面(40)的径向内侧，并具有面向所述工件(W)的开口，且具有第一斜面(60)，在朝向所述工件(W)的方向上，该斜面的直径逐渐增大；与所述涡流室(68)的所述第一斜面(60)相连接的引出孔(64)，其在所述涡流室(68)与所述通道(48)之间连通，用于将所述空气向外引流到所述涡流室(68)中；以及向外凸出的凸起(54)，其大体上设置在所述涡流室(68)的中心处，在朝向所述工件(W)的方向上，所述凸起(54)的直径逐渐缩小。