[发明专利]基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法

摘要

一种基板收纳设备，包括：收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔而配置的状态保持多张，收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，第1开口构成为用于输入输出基板的输入输出口；风扇过滤单元，装备在收纳容器的第2开口的区域，用于从第2开口朝向第1开口通风；控制机构，控制收纳容器搬运装置的动作，这里，控制机构控制收纳容器搬运装置的动作，在使收纳容器的装备有风扇过滤单元的一侧位于移动空间一侧、且使收纳容器的输入输出口的一侧位于从移动空间远离的一侧的状态下，将收纳容器收纳到收纳部中。

主权项

1.一种基板收纳设备，包括：收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地配置的状态保持多张；收纳架，具有收纳前述收纳容器的多个收纳部；前述收纳容器的入库出库部；收纳容器搬运装置，在前述收纳架的前方的移动空间内沿架横宽方向行进，并且，在前述入库出库部和前述收纳部之间搬运前述收纳容器；控制机构，控制前述收纳容器搬运装置的动作；其特征在于，前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，具备装备在前述收纳容器的前述第2开口的区域的风扇过滤单元，用于从前述第2开口朝向前述第1开口通风，前述控制机构控制前述收纳容器搬运装置的动作，在使前述收纳容器的装备有前述风扇过滤单元的一侧位于前述移动空间一侧、且使前述收纳容器的前述输入输出口的一侧位于从前述移动空间远离的一侧的状态下，将前述收纳容器收纳到前述收纳部中。