[发明专利]流体输送装置的制造方法有效
| 申请号： | 200710147254.6 | 申请日： | 2007-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101377191A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 陈世昌;郑江河;余荣侯;蔡志宏;邱士哲 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/02 | 分类号： | F04B43/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明为一种流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：形成阀体层；于该阀体层上对应形成阀体盖层，其具有压力腔室；形成可挠薄膜，其具有多个阀片结构；形成致动薄膜；形成致动片，并将致动片贴附定位于致动薄膜上，以形成致动器；将可挠薄膜设置于阀体层及阀体盖层之间，且将阀体层、可挠薄膜与阀体盖层相互组装定位；以及将致动器设置于阀体盖层上，以使致动薄膜封闭阀体盖层的压力腔室，以形成流体输送装置。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 输送 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体输送装置的制造方法，其特征在于包含下列步骤：形成一阀体层；于该阀体层上对应形成一阀体盖层，其具有一压力腔室；形成一可挠薄膜，其具有至少一个阀片结构；形成一致动薄膜；形成一致动器，并将该致动器贴附定位于该致动薄膜上，以形成一致动装置；将该可挠薄膜设置于该阀体层及该阀体盖层之间，且将该阀体层、该可挠薄膜与该阀体盖层相互组装定位；以及将该致动器设置于该阀体盖层上，以使该致动薄膜封闭该阀体盖层的该压力腔室，以形成一流体输送装置。
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