[发明专利]流体输送装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种流体输送装置的制造方法，尤指一种适用于微泵结构的流体 输送装置的制造方法。

背景技术

目前于各领域中无论是医药、计算机科技、打印、能源等工业，产品均朝精致 化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的 流体输送结构为其关键技术，因此，如何借助创新结构突破其技术瓶颈，为发展的 重要内容。

请参阅图1(a)，其为已知微泵结构于未作动时的结构示意图，已知微泵结构 10包含入口通道13、微致动器15、传动块14、隔层膜12、压缩室111、基板11 以及出口通道16，其中基板11与隔层膜12间形成一压缩室111，主要用来储存液 体，将因隔层膜12的形变影响而使得压缩室111的体积受到改变。

当一电压作用在微致动器15的上下两极时，会产生一电场，使得微致动器15 在此电场的作用下产生弯曲而向隔层膜12及压缩室111方向移动，由于微致动器 15设置于传动块14上，因此传动块14能将微致动器15所产生的推力传递至隔层 膜12，使得隔层膜12也跟着被挤压变形，即如图1(b)所示，液体即可依图中箭号 X的方向流动，使由入口通道13流入后储存于压缩室111内的液体受挤压，而经 由出口通道16流向其它预先设定的空间，以达到供给流体的目的。

请再参阅图2，其为图1(a)所示的微泵结构的俯视图，如图所示，当微泵结构 10作动时流体的输送方向是如图中标号Y的箭头方向所示，入口扩流器17为两端 开口大小不同的锥状结构，开口较大的一端是与入口流道191相连接，而以开口较 小的一端与微压缩室111连接，同时，连接压缩室111及出口流道192的扩流器 18是与入口扩流器17同向设置，其是以开口较大的一端连接于压缩室111，而以 开口较小的一端与出口流道192相连接，由于连接于压缩室111两端的入口扩流器 17及出口扩流器18为同方向设置，故可利用扩流器两方向流阻不同的特性，及压 缩室111体积的涨缩使流体产生单方向的净流率，以使流体可自入口流道191经由 入口扩流器17流入压缩室111内，再由出口扩流器18经出口流道192流出。

此种无实体阀门的微泵结构10容易产生流体大量回流的状况，所以为促使流 率增加，压缩室111需要有较大的压缩比，以产生足够的腔压，故需要耗费较高的 成本在致动器15上。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失的流体输送装置，实为目前迫切 需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种流体输送装置的制造方法，主要依序形成阀体 层、阀体盖层、可挠薄膜、致动薄膜及致动片，且使可挠薄膜相对应设置于阀体层 及阀体盖层之间，并将致动薄膜及致动片相互对应贴合，通过致动片作动时带动致 动薄膜产生形变，使介于致动薄膜及阀体盖层间的压力腔室体积改变，以产生正负 的压力差，同时，由于可挠薄膜上的阀片结构的迅速反应，使得压力腔室于涨缩的 瞬间可产生较大的流体吸力与推力，故可使流体达到高效率的传输，并可有效阻挡 流体的逆流，以解决已知技术的微泵结构于流体传送过程中易产生流体回流的现 象。

为达上述目的，本发明的较广义实施态样为提供一种流体输送装置的制造方 法，其包含下列步骤：形成阀体层；于该阀体层上对应形成阀体盖层，其具有压力 腔室；分别于该阀体层及该阀体盖层上形成一微凸结构；形成可挠薄膜，其具有至 少一个阀片结构；形成致动薄膜；形成致动器，并将致动器贴附定位于致动薄膜上， 以形成致动装置；将可挠薄膜设置于阀体层及阀体盖层之间，且将阀体层、可挠薄 膜与阀体盖层相互组装定位，使该可挠薄膜的该阀片结构分别与该阀体层及该阀体 盖层上的该微凸结构相抵触，且施予一预作用力，并使该阀片结构与该阀体层的表 平面间形成一间隔，及该阀片结构与该阀体盖层的表平面间形成一间隙；以及将致 动装置设置于阀体盖层上，以使致动薄膜封闭阀体盖层的压力腔室，以形成流体输 送装置。

附图说明

图1(a)为已知微泵结构于未作动时的结构示意图。

图1(b)为图1(a)于作动时的结构示意图。

图2为图1(a)所示的微泵结构的俯视图。

图3为本发明第一较佳实施例的流体输送装置的结构示意图。

图4为图3所示的阀体座侧面结构示意图。