[发明专利]基板检测机构以及基板收纳容器有效
| 申请号： | 200710146611.7 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101131366A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 早川升;冈部星儿 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即便被支承部件支承的基板的挠曲量发生变化也能可靠并且容易地检测有无基板的基板检测机构。在收纳基板(G)的容器主体(102)内设置支承基板(G)的支承部件(54)、和检测被支承部件(54)支承着的基板的有无的基板检测机构。基板检测机构具有向容器内射出光并接受反射光的光传感器(108)；改变光传感器(108)的角度的致动器(109)；和控制部(130)，该控制部根据被支承部件(54)支承着的基板(G)的挠曲量控制凭借致动器(109)的光传感器(108)的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 机构 以及 收纳 容器 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测机构，其检测在由支承部件支承着基板的状态下收纳基板的容器中有无基板，其特征在于，具有被安装在所述容器底部的光传感器，通过接受从该光传感器射出的光的反射光检测基板的有无。
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