[发明专利]用于气体供给设备的喷头无效
| 申请号： | 200710146444.6 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101172268A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | R·J·贝利;J·B·德杜特尼 | 申请（专利权）人： | 阿维扎技术公司 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/365 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭小军 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于气体供给设备的喷头。该喷头包括在一侧具有分布盘的主体以及包含在该主体中的至少一个气体腔。多个孔从分布盘的外表面垂直地延伸到所述腔。另外，至少一个孔的至少一部分沿着所述垂直轴线成截头圆锥形或截头棱锥形，该截头圆锥形或截头棱锥形孔的基底与分布盘的外表面相邻。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 供给 设备 喷头 | ||
【主权项】：
1.一种用于气体供给设备的喷头，包括：在一侧具有分布盘的主体，包含在所述主体内的至少一个腔，从所述分布盘的外表面垂直延伸到所述至少一个腔的多个孔，其中，至少一个所述孔的至少一部分沿着所述垂直轴线成截头圆锥形，该截头圆锥形孔的基底与所述分布盘的所述外表面相邻。
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