[发明专利]用于缺陷检测的方法和系统无效
| 申请号： | 200710142879.3 | 申请日： | 2007-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN101451963A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 史密尔·曼根;鲍里斯·戈德堡;伊谢·施瓦茨班德;翁·哈伦;迈克尔·本-伊谢;阿米尔·萨吉弗 | 申请（专利权）人： | 以色列商·应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁 挥 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于掩模版评估的系统、方法和计算机可读媒质，该方法包括：(i)在成像工艺期间，在不同的偏振和可选的干涉测量条件下，得到掩模版的多重图像；以及(ii)响应(i)多重图像和(ii)成像工艺和曝光工艺之间的差别以产生输出航空图像；其中在曝光工艺期间掩模版的图像投射到晶圆上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于掩模版评估的方法，该方法包含在成像工艺期间，在不同的偏振条件下得到所述掩模版的多重图像；以及响应(i)所述多重图像和(ii)在所述成像工艺和曝光工艺之间的差别产生输出航空图像；其中在所述曝光工艺期间所述掩模版的图像投射到晶圆上。
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