[发明专利]绘制装置

摘要

一种绘制装置，在短时间内正确地量测基板等的被绘制体的基准记号的位置。在绘制电路样式的绘制装置中，配置可沿着(Y)方向(主扫描方向)移动的照相机，设置搭载可沿着(X)方向(副扫描方向)移动的基板的绘制桌。又，将基准刻度尺(16)沿着(Y)方向配置，对于基台使其固定。又，在照相机(11)，安装将红色光、绿色光选择地放射的光源单元，在照相机(11)的下方，设置分色镜(15)。

主权项

1.一种绘制装置，该绘制装置包括：绘制桌，位置量测用的基准记号被设置的被绘制体被搭载，可对于基台相对地沿着第一扫描方向移动；照相机，可对于上述基台沿着与上述第一扫描方向正交的第二扫描方向移动地被安装，量测上述基准记号位置；基准刻度尺，被安装在上述基台、沿着上述第二扫描方向延伸；第一光源，照射量测上述基准记号位置用的第一照明光；第二光源，照射照明上述基准刻度尺用的具有和上述第一照明光不同的波长领域的第二照明光；量测用光学系统，将上述第一照明光导引至上述被绘制体且将其反射光导引至上述照相机，并将上述第二照明光导引至上述基准刻度尺且将其反射光导引至上述照相机；量测装置，量测上述基准记号的位置；以及补正装置，基于被量测的上述基准记号的位置，补正绘制位置。