[发明专利]薄膜天线的制作方法无效
| 申请号： | 200710135714.3 | 申请日： | 2007-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101364661A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 陈稚元 | 申请（专利权）人： | 陈稚元 |
| 主分类号： | H01Q1/00 | 分类号： | H01Q1/00;H01Q1/38 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种利用电铸方式制作薄膜天线的制作方法，首先，准备衬底，在该衬底表面涂覆一层聚合物，再在该聚合物表面涂覆光阻层，然后进行光刻，未被光阻层遮挡的该聚合物在光线的照射下形成凹穴，将该聚合物表面涂覆的光阻层除去，即完成了一个镀件的制作；接着，将该镀件放入具有金属溶液的电铸槽中，并以该镀件为阴极，而阳极为金属片，该镀件与该金属片是平行的，在通入直流电源后，该金属溶液中的元素将沉积在该镀件的凹穴中；最后，将电铸完成的镀件从电铸槽中取出，清洗镀件，以除去该镀件上残留的金属溶液，再将沉积物与该镀件分离，该沉积物即形成薄膜式天线。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 天线 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜天线的制作方法，包括：(a)准备衬底；(b)在所述衬底的表面涂覆聚合物；(c)在所述聚合物上进行光刻，从而形成凹穴；(d)将经过上述步骤的衬底作为镀件放入具有金属溶液的电铸槽中；(e)从所述电铸槽中取出完成电铸的所述镀件；(f)、将通过电铸沉积在所述凹穴中的沉积物从所述镀件中分离，从而制成天线。
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