[发明专利]双质量振动式硅微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种双质量振动式硅微陀螺仪。该陀螺仪由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构组成，该两个子结构左右对称设置，并分别与横梁连接，该横梁通过两组扭杆与固定基座连接，该固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明两个子结构左右对称布置，为单质量块输出信号的两倍；采用两组支承梁将驱动部分与检测部分分开，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，从而减小误差信号；两个子结构的驱动运动和检测运动均为相向运动，形成梳齿差动电容检测，实现了敏感输出解耦，抑制了干扰信号。

主权项

1.一种双质量振动式硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构[100、200]组成，该两个子结构[100、200]左右对称设置，并分别与横梁[3a、3b]连接，该横梁[3a、3b]通过两组扭杆[2a、2b、2c、2d]与固定基座[1a、1b]连接，该固定基座[1a、1b]安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。