[发明专利]振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械有效
| 申请号： | 200710109624.7 | 申请日： | 2007-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN101086555A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 加藤贵久;古川幸生;秋山贵弘 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G03G15/00;B41J2/47 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱德强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种振荡器装置及其制造方法，能够大范围且高速度地进行振荡部件的转动惯量或者重心位置的调节。其中，该振荡部件绕振荡轴线(17)振荡，并且该振荡部件包含可动元件(11)和质量调节部件(19)，在可动元件(11)和质量调节部件(19)之间限定有空腔(30)，从而，通过对质量调节部件(19)进行激光束照射，该质量调节部件的与空腔相邻近的一部分被部分地去除，该要被去除的部分包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡器 装置 偏转 以及 使用 光学 器械 | ||
【主权项】：
1.一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线进行振荡，所述方法包括：由可动元件和用于调节所述振荡部件的质量的质量调节部件形成所述振荡部件，同时在所述可动元件与所述质量调节部件的一部分之间形成空腔，以及用激光束照射所述质量调节部件，以部分地去除所述质量调节部件中与所述空腔邻近的材料，所述被以此去除的材料包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。
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