[发明专利]振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械

权利要求书

1.一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线进行振荡，所述方法包括：

由可动元件和用于调节所述振荡部件的质量的质量调节部件形成所述振荡部件，所述质量调节部件粘接到所述可动元件上，在所述可动元件与所述质量调节部件之间形成空腔，以及

用激光束照射所述质量调节部件，以部分地去除所述质量调节部件中与所述空腔邻近的材料，所述被以此去除的材料包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述激光束沿封闭的曲线照射到所述质量调节部件上，从而所述质量调节部件中被所述封闭曲线环绕的材料被去除。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述振荡器装置具有至少一个绕所述振荡轴线的固有振荡模式，并且其中所述质量调节部件被部分地去除，以进行所述固有振荡模式的频率调节和所述振荡部件的重心位置的调节中的至少一个。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述振荡器装置具有多个绕所述振荡轴线的固有振荡模式，并且其中所述质量调节部件被部分地去除，以将所述多个固有振荡模式的频率分别调谐成为所需的频率。

5.一种振荡器装置，包括：

振荡部件；

弹性支撑部；以及

支撑部件；

其中，所述振荡部件被所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线振荡；

其中，所述振荡部件具有可动元件和用于调节所述振荡部件的质量的质量调节部件，并且，所述质量调节部件粘接到所述可动元件上，在所述可动元件和所述质量调节部件之间形成空腔。

6.如权利要求5所述的振荡器装置，其中，所述可动元件具有光偏转元件，并且所述振荡器装置作为光偏转器起作用。

7.一种成像设备，包括：

光源；

如权利要求6所述的振荡器装置；以及

感光部件；

其中，所述光偏转器对来自所述光源的光进行偏转，以便所述光的至少一部分入射到所述感光部件上。

8.一种图像显示设备，包括：

光源；

如权利要求6所述的振荡器装置；

图像显示部件；

其中，所述光偏转器对来自所述光源的光进行偏转，以便所述光的至少一部分入射到所述图像显示部件上。