[发明专利]测量装置和测量方法无效
| 申请号： | 200710103305.5 | 申请日： | 2007-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101153820A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 藤原胜美;大场英俊 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00;G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种测量装置，包括：测量光源(14)，用于向镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，测量光源发射的测量光(28)从镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在投射单元上作为投射光点；图像拾取单元(18)，用于拾取投射单元(17)的图像，反射光(13)投射在投射单元上作为投射光点；控制单元(31)，用于控制镜平面(11)的倾斜度；以及测量单元(33)，用于基于图像拾取单元拾取的投射单元的图像，测量投射光点(50)的移动量，投射光点随着受控制单元(31)控制的镜平面(11)的倾斜度变化而移动。本发明使得能够在短时间内高准确度地测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的偏转特性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置(10)，用于测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的特性，所述测量装置(10)包括：测量光源(14)，用于向所述镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，当所述测量光源(14)发射的测量光(28)从所述镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)；图像拾取单元(18)，用于拾取所述投射单元(17)的图像，所述反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)；控制单元(31)，用于控制所述镜平面(11)的倾斜度；以及测量单元(33)，用于基于所述图像拾取单元(18)拾取的所述投射单元(17)的图像，测量所述投射光点(50)的移动量，所述投射光点(50)随着受所述控制单元(31)控制的所述镜平面(11)的倾斜度变化而移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士通株式会社，未经富士通株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710103305.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
