[发明专利]多层构造体的缺陷检查装置有效
| 申请号： | 200710102204.6 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101241165A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金义锡;李庭佑;郑允辰;李成进;安成敏;康盛旭 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01D5/26;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;邱玲 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种在提高缺陷检查灵敏度的同时提高检查速度的多层构造体的缺陷检查装置。该缺陷检查装置，包含：X光发射装置，该X光发射装置向作为检查对象的多层构造体发射X光并满足X光的反射条件；检测传感器，以用于检测因多层构造体的缺陷而透射多层构造体的荧光X光。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 构造 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种多层构造体的缺陷检查装置，其特征在于包含：X光发射装置，该X光发射装置向作为检查对象的多层构造体发射X光并满足所述X光的反射条件；检测传感器，以用于检测因所述多层构造体的缺陷而透射所述多层构造体的荧光X光。
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