[发明专利]带有衬底涂敷用载具的涂敷设备无效
| 申请号： | 200710102086.9 | 申请日： | 2007-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101097880A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·乌尔里克 | 申请（专利权）人： | 应用材料合资有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/673;H01L31/18;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种带有新颖的衬底载具(1)的涂敷设备。衬底载具(1)主要由玻璃陶瓷制成的板(2)组成。与迄今为止所用的传统CFC材料相比，玻璃陶瓷材料价格较低且交货时间较短。因此可以更经济地操作涂敷设备。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 衬底 敷用 敷设 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷设备，特别是用于生产太阳能电池的涂敷设备，包括用于对衬底进行涂敷的衬底载具(1)，所述涂敷设备的特征在于，所述衬底载具(1)主要由玻璃陶瓷材料组成。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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