[发明专利]图像检查装置以及采用该图像检查装置的图像检查方法

摘要

以往，在半导体晶片的缺陷(裂纹或异物等)的检查中，当用照相机拍摄透过半导体晶片的红外光、并用该摄像图像进行检查时，由于从被检查物的外侧泄漏出来的光的原因，照相机产生光晕，结果不能检查被检查体的周边部分。本发明用红外光源(3)照射被检查体(1)，用红外线照相机(6)拍摄透过了被检查体(1)的光，并进行被检查体的检查。通过采用距被检查体的周围有微小量的间隙(10)的掩模机构(8)，便可以检查被检查物的周边部分。另外，通过采用多组支撑被检查体(1)的机构可以分别退避的构成的部件，并使其交替退避，就可以检查全部。

主权项

1.一种图像检查方法，其特征在于，包括：由第1支撑机构大致水平地支撑具有透过红外光线的性质的板状的被检查体的步骤；从所述被检查体的一面照射红外光线的步骤；在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧的周围设置遮蔽所述红外光线的掩模机构的步骤；由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第1支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤；当在与所述第1支撑机构的位置不同的位置上由第2支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第1支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；以及由所述红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第2支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤。