[发明专利]产生用于生成网屏掩膜的基本样板的方法无效
| 申请号： | 200710096518.X | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101286002A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 廖武杰;殷孟云 | 申请（专利权）人： | 致伸科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F5/00 | 分类号： | G03F5/00;G03F7/12;G03G15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭晓东 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种产生用于生成网屏掩膜的基本样板的方法，其调整测试样板的网线数或最小点排列形式(包含丛聚尺寸或分布密度)，以输出装置打印该测试样板，并判断打印结果的灰度值是否符合特定的灰度值，若不符合则持续调整网线数或最小点排列形式的设定，直到打印结果的灰度值符合特定的灰度值时，选择该测试样板为基本样板。由于本发明针对输出装置进行基本样板最佳化的设计，可使该输出装置于使用网屏掩膜打印时具有最佳化的效果，确保最小色点也可忠实输出，去除掉粉现象对输出结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 用于 生成 网屏掩膜 基本 样板 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种产生基本样板的方法，其特征在于，该方法包括：(a)调整测试样板的网线数；(b)以输出装置打印该测试样板，产生第一测试打印结果；(c)判断该第一测试打印结果的灰度值是否符合第一特定灰度值；(d)若否，则根据该第一测试打印结果调整步骤(a)中该网线数的设定，并重复步骤(b)及步骤(c)；以及(e)若是，则选择该测试样板为第一基本样板。
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