[发明专利]产生用于生成网屏掩膜的基本样板的方法

权利要求书

1. 一种产生基本样板的方法，其特征在于，该方法包括：

(a)调整测试样板的网线数；

(b)以输出装置打印该测试样板，产生第一测试打印结果；

(c)判断该第一测试打印结果的灰度值是否符合第一特定灰度值；

(d)若否，则根据该第一测试打印结果调整步骤(a)中该网线数的设定，并重复步骤(b)及步骤(c)；以及

(e)若是，则选择该测试样板为第一基本样板。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(a)还包括：

设定该测试样板的网线角度。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

(f)调整该第一基本样板的最小点排列形式；

(g)以该输出装置打印调整后的该第一基本样板，产生第二打印结果；

(h)判断该第二打印结果的灰度值是否符合第二特定灰度值；

(i)若否，则根据该第二打印结果调整步骤(f)中该最小点排列形式的设定，并重复步骤(g)及步骤(h)；以及

(i)若是，则选择调整后的该第一基本样板为第二基本样板。

4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(f)还包括：

调整该第一基本样板的最小点丛聚尺寸、形状或密度。

5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，该第二特定灰度值根据该最小点丛聚密度决定。

6. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，该第二特定灰度值为该第一特定灰度值乘上特定比例。

7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该特定比例大致上等于1/2。

8. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，该第二特定灰度值为25％灰色的灰度值。

9. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该第一特定灰度值为50％灰色的灰度值。

10. 根据权利要求1所述的方法，还包括：

调整该第一基本样板中的网线粗细，以产生第三基本样板。

11. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该输出装置为激光打印机。

12. 一种产生基本样板的方法，其特征在于，包括：

(a)调整测试样板的最小点排列形式；

(b)以输出装置打印该测试样板，产生打印结果；

(c)判断该打印结果的灰度值是否符合特定灰度值；

(d)若否，则根据该打印结果调整步骤(a)中该最小点排列形式的设定，并重复步骤(b)及步骤(c)；以及

(e)若是，则选择该测试样板为基本样板。

13. 根据权利要求12所述的方法，其特征在于，步骤(a)还包括：

调整该测试样板的最小点丛聚尺寸、形状或密度。

14. 根据权利要求13所述的方法，其特征在于，该特定灰度值根据该最小点丛聚密度决定。

15. 根据权利要求12所述的方法，其特征在于，该特定灰度值为25％灰色的灰度值。

16. 根据权利要求12所述的方法，其特征在于，该输出装置为激光打印机。