[发明专利]金属蒸发设备有效
| 申请号： | 200710094315.7 | 申请日： | 2007-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101451230A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李晓远;陈谦 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 平 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属蒸发设备，该设备的腔体内包括坩埚盖板和坩埚，该设备还包括：转轴，贯穿该设备的腔体内外，且与所述坩埚连接在一起；盖板冷却管道，有部分埋设在所述坩埚盖板的内部；坩埚冷却管道，全部埋设在所述转轴和坩埚的内部，在转轴表面的入水口和出水口均在该设备的腔体外。本发明采用磁流体密封和传统的橡胶密封环相结合，实现了金属蒸发设备的腔体内的真空密封。本发明还对坩埚和坩埚盖板的冷却水系统进行分离设计，并将坩埚的冷却水系统与转轴之间的密封结构置于真空腔体之外，这样即使冷却水发生泄漏也不会对腔体的真空度造成影响，提高了设备的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种金属蒸发设备，该设备的腔体内包括坩埚盖板和坩埚，其特征是：该设备还包括：转轴，贯穿该设备的腔体内外，且与所述坩埚连接在一起；盖板冷却管道，部分埋设在所述坩埚盖板的内部；坩埚冷却管道，全部埋设在所述转轴和坩埚的内部，在转轴表面的入水口和出水口均在该设备的腔体外。
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