[发明专利]制备柱状晶紧密排列PVD轴瓦的方法

摘要

一种制备柱状晶紧密排列PVD轴瓦的方法，本发明在轴瓦上溅射镍栅层后，首先在真空熔炉中熔炼成块状合金，然后，挤压成形，冷却后，装配成靶材；将铝合金靶材和轴瓦基底装入溅射舱，工作气体为氩气，将铝合金靶材和轴瓦基底装入溅射舱，工作气体为氩气，调节溅射舱的溅射气压为0.4～1.2Pa，基体温度为40～120℃，在溅射减摩层1～2小时后，将其基体的伴随负偏压为－100～－1000V。用EVO40型扫描电子显微镜测膜层截面(或断口)的微观形貌，呈现出紧密、均匀排列的柱状晶形，并且该柱状晶的轴线应与基体基本垂直，这种具有柱状晶减摩层的PVD轴瓦，明显地提高了其耐磨性和抗疲劳的强度。

主权项

1.一种制备柱状晶紧密排列PVD轴瓦的方法，包括以下工艺步骤：将预处理过的轴瓦装入溅射舱，放入镍靶材和铝合金靶材，抽真空，在轴瓦的内表面溅射镍栅层(4)，然后溅射铝合金减摩层(6)，以及后续处理，其特征在于：所述溅射铝合金减摩层(6)的工艺条件如下：先制备铝合金靶材，该铝合金靶材中纯锡、纯铜及纯铝的重量百分比为16％～25％∶0.3％～3％∶83.7％～72％；再溅射铝合金减摩层(6)，工作气体为氩气，调节溅射舱的溅射气压为0.4～1.2Pa，基体温度为40～120℃，在溅射减摩层1～2小时后，调整基体的负偏压为-100～-1000V。