[发明专利]制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法无效
| 申请号： | 200710092312.X | 申请日： | 2007-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN101083456A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | R·塔尔汉默;S·马克斯泰纳;G·法廷格 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 制造包括交迭配置的具有高和低声阻抗层的压电谐振器的反射镜，其中首先制作第一层(106b1，106b2)，在第一层(106b1，106b2)之上制作第二层(106a1，106a2)，由此第二层(106a1，106a2)部分地覆盖第一层(106b1，106b2)。然后，在第一层(106b1，106b2)和第二层(106a1，106a2)之上应用平坦化层(132)。随即，通过构建平坦化层(132)使得第二层(106a1，106a2)的一部分(134)暴露出来，其中此部分与压电谐振器的有源区域(122)相关。最后，通过移除保持在此部分之外的平坦化层(132)的部分(132a，132b)来平坦化最后的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 用于 压电 谐振器 反射 方法 | ||
【主权项】：
1、制造具有交迭配置的高和低声阻抗层的声反射镜(106)的方法，其中所述反射镜包括层序列，此层序列具有至少一个高声阻抗层(106a1，106a2)和至少一个低声阻抗层(106b1，106b2)，包括步骤：(a)制作层序列的第一层(106b1，106b2)；(b)在第一层(106b1，106b2)之上制作层序列的第二层(106a1，106a2)，以使得第二层(106a1，106a2)部分地覆盖第一层(106b1，106b2)；(c)在第一层(106b1，106b2)和第二层(106a1，106a2)之上应用一平坦化层(132)；(d)暴露出第二层(106a1，106a2)的一部分(134)，其中第二层(106a1，106a2)的所暴露部分(134)与压电谐振器的有源区域(122)相关；以及(e)通过去除至少保留在第二层(106a1，106a2)的所暴露部分(134)之外的部分平坦化层(132)来平坦化从步骤(d)中得到的结构。
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