[发明专利]联机式涂敷装置

摘要

本发明涉及一种适用于对基板涂敷照相平版印刷用光致抗蚀剂的涂敷作业，且可防止光致抗蚀剂的不良涂层，并能实现整个平版印刷工艺联机化的联机式涂敷装置。本发明包括：作业平台，其作业面长度足以在基板输送过程中完成涂敷作业；悬浮台，其通过气体喷射压力使基板水平悬浮在作业面上；输送装置，其用于吸附及固定悬浮状基板，同时通过驱动源的传动力，沿作业面输送基板；狭缝式涂敷装置，其具有细长的切口即吐出口，并通过吐出口对沿着作业面移动的基板涂敷光致抗蚀剂；吐出调整装置，其具有可分离地接触在吐出口端部的平整面，并以与平整面面接触的状态推压粘接在吐出口端部上的光致抗蚀剂，使光致抗蚀剂沿吐出口的切开方向均匀分布。

主权项

1、一种联机式涂敷装置，其包括：作业平台，其提供的作业面长度足以在基板输送过程中完成涂敷作业；悬浮台，其通过气体喷射压力使基板水平悬浮在所述作业面上；输送装置，其用于吸附及固定悬浮状基板，同时通过驱动源的动力，沿所述作业面输送基板；狭缝式涂敷装置，其具有细长的切口即吐出口，并通过所述吐出口对沿着所述作业面移动的基板涂敷光致抗蚀剂；吐出调整装置，其具有可分离地接触在所述吐出口端部的平整面，并以与平整面面接触的状态推压粘接在所述吐出口端部上的光致抗蚀剂，使光致抗蚀剂沿所述吐出口的切开方向均匀分布。