[发明专利]弹性边界波器件、谐振器以及滤波器

摘要

本发明公开了一种弹性边界波器件、谐振器以及滤波器。所述弹性边界波器件包括：LiNbO₃基板；设置在所述基板上并激励弹性波的电极；以及设置在所述基板上以覆盖所述电极的二氧化硅膜，并且所述弹性边界波器件的参数具有范围中的任意一个，其中，“θ”为所述基板的旋转Y切割角，“a”为铜密度与用作所述电极的材料的密度之比，“λ”为由所述电极激励的弹性波的波长，“h”为所述电极的膜厚度，“H”为所述二氧化硅膜的厚度。

主权项

1、一种弹性边界波器件，该弹性边界波器件包括：LiNbO3基板；设置在所述基板上并激励弹性波的电极；以及设置在所述基板上以覆盖所述电极的二氧化硅膜，其中，所述弹性边界波器件的参数具有以下范围中的任意一个，其中，“θ”为所述基板的旋转Y切割角，“a”为铜密度与用作所述电极的材料的密度之比，“λ”为由所述电极激励的弹性波的波长，“h”为所述电极的膜厚度，“H”为所述二氧化硅膜的厚度：当0.045λ/a≤h＜0.0525λ/a时，并且当25°≤θ＜26.5°、0.39λ≤H＜0.46λ时，当26.5°≤θ＜27.5°、0.41λ≤H＜0.48λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.42λ≤H＜0.51λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.43λ≤H＜0.53λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.45λ≤H＜0.56λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.46λ≤H＜0.58λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.47λ≤H＜0.61λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.48λ≤H＜0.64λ时，当33.5°≤θ＜35°、0.48λ≤H＜0.67λ时，当35°≤θ＜37.5°、0.5λ≤H＜0.74λ时，当37.5°≤θ＜42°、0.52λ≤H＜0.8λ时，当42°≤θ＜57°、0.55λ≤H＜0.8λ时，当57°≤θ＜63°、0.51λ≤H＜0.8λ时，当63°≤θ＜69°、0.46λ≤H＜0.8λ时，当69°≤θ＜75°、0.39λ≤H＜0.8λ时，当75°≤θ＜99°、0.3λ≤H＜0.8λ时，以及当99°≤θ＜105°、0.58λ≤H＜0.8λ时；当0.0525λ/a≤h＜0.065λ/a时，并且当24°≤θ＜25°、0.3λ≤H＜0.32λ时，当25°≤θ＜26.5°、0.3λ≤H＜0.37λ时，当26.5°≤θ＜27.5°、0.33λ≤H＜0.38λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.34λ≤H＜0.41λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.37λ≤H＜0.43λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.39λ≤H＜0.44λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.42λ≤H＜0.47λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.44λ≤H＜0.48λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.47λ≤H＜0.49λ时，当33.5°≤θ＜34.5°、0.47λ≤H＜0.51λ时，当34.5°≤θ＜35.5°、0.48λ≤H＜0.57λ时，当35.5°≤θ＜36.5°、0.5λ≤H＜0.62λ时，当36.5°≤θ＜38°、0.52λ≤H＜0.67λ时，当38°≤θ＜40.5°、0.54λ≤H＜0.79λ时，当40.5°≤θ＜43.5°、0.58λ≤H＜0.8λ时，当43.5°≤θ＜46.5°、0.61λ≤H＜0.8λ时，当46.5°≤θ＜51°、0.64λ≤H＜0.8λ时，当51°≤θ＜57°、0.69λ≤H＜0.8λ时，以及当57°≤θ＜63°、0.78λ≤H＜0.8λ时；当0.065λ/a≤h＜0.0725λ/a时，并且当25.5°≤θ＜26.5°、0.3λ≤H＜0.32λ时，当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.36λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.38λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.32λ≤H＜0.43λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.34λ≤H＜0.46λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.36λ≤H＜0.5λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.39λ≤H＜0.55λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.43λ≤H＜0.6λ时，当33.5°≤θ＜35°、0.46λ≤H＜0.66λ时，当35°≤θ＜36.5°、0.54λ≤H＜0.8λ时，当36.5°≤θ＜37.5°、0.59λ≤H＜0.8λ时，当37.5°≤θ＜38.5°、0.65λ≤H＜0.8λ时，以及当38.5°≤θ＜39°、0.73λ≤H＜0.8λ时；当0.0725λ/a≤h＜0.0775λ/a时，并且当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.35λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.39λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.3λ≤H＜0.43λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.33λ≤H＜0.49λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.35λ≤H＜0.56λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.39λ≤H＜0.63λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.43λ≤H＜0.75λ时，当33.5°≤θ＜34.5°、0.47λ≤H＜0.8λ时，当34.5°≤θ＜35.5°、0.52λ≤H＜0.8λ时，当35.5°≤θ＜36.5°、0.57λ≤H＜0.8λ时，当36.5°≤θ＜37.5°、0.63λ≤H＜0.8λ时，以及当37.5°≤θ＜38.5°、0.72λ≤H＜0.8λ时；当0.0775λ/a≤h＜0.0825λ/a时，并且当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.34λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.41λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.3λ≤H＜0.47λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.32λ≤H＜0.56λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.36λ≤H＜0.69λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.39λ≤H＜0.8λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.44λ≤H＜0.8λ时，当33.5°≤θ＜35°、0.5λ≤H＜0.8λ时，当35°≤θ＜36.5°、0.65λ≤H＜0.8λ时，以及当36.5°≤θ＜38°、0.77λ≤H＜0.8λ时；当0.0825λ/a≤h＜0.0875λ/a时，并且当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.36λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.44λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.3λ≤H＜0.57λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.32λ≤H＜0.8λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.37λ≤H＜0.8λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.43λ≤H＜0.8λ时，当32.5°≤θ＜33.5°、0.51λ≤H＜0.8λ时，当33.5°≤θ＜34.5°、0.59λ≤H＜0.8λ时，以及当34.5°≤θ＜35.5°、0.72λ≤H＜0.8λ时；当0.0875λ/a≤h＜0.0925λ/a时，并且当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.39λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.58λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.33λ≤H＜0.8λ时，当30.5°≤θ＜31.5°、0.43λ≤H＜0.8λ时，当31.5°≤θ＜32.5°、0.53λ≤H＜0.8λ时，以及当32.5°≤θ＜33.5°、0.67λ≤H＜0.8λ时；当0.0925λ/a≤h＜0.0975λ/a时，并且当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.63λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，当28.5°≤θ＜29.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，当29.5°≤θ＜30.5°、0.42λ≤H＜0.8λ时，以及当30.5°≤θ＜31.5°、0.6λ≤H＜0.8λ时；当0.0975λ/a≤h＜0.1025λ/a时，并且当25.5°≤θ＜26.5°、0.32λ≤H＜0.7λ时，当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，以及当28.5°≤θ＜29.5°、0.45λ≤H＜0.8λ时；当0.1025λ/a≤h＜0.1125λ/a时，并且当24.5°≤θ＜25.5°、0.6λ≤H＜0.8λ时，当25.5°≤θ＜26.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，当26.5°≤θ＜27.5°、0.3λ≤H＜0.8λ时，以及当27.5°≤θ＜28.5°、0.3λ≤H＜0.33λ和0.64λ≤H＜0.8λ时；以及当0.1125λ/a≤h＜0.12λ/a时，并且当22.5°≤θ＜23.5°、0.47λ≤H＜0.76λ时，以及当23.5°≤θ＜24.5°、0.36λ≤H＜0.45λ时。