[发明专利]基板承载装置及其支撑装置有效

专利信息
申请号: 200710084682.9 申请日: 2007-03-01
公开(公告)号: CN101013217A 公开(公告)日: 2007-08-08
发明(设计)人: 汤浩清;侯先益;谢至忠;程健源 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333;B25H1/00
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 潘培坤
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种基板承载装置及其支撑装置。其中,该支撑装置包含:杆体,具有相对的第一端与第二端,第一端连接至接地部;顶掣件,位于杆体的第二端,其中该顶擎件远离杆体的部分为绝缘材料;顶针,一部分配置于顶掣件内,且与接地部电性连接;以及弹性组件,置于顶掣件内,支撑顶针。该基板承载装置包含:一平台;至少一支撑装置,安装在该平台上,该支撑装置一端连接至该平台并连接至接地部;以及一基板,安装在该支撑装置上,同时与该顶掣件的绝缘材料及顶针接触。本发明的优点在于:防止顶掣件累积电荷造成顶掣件所支撑的基板发生不良,以提高质量合格率。
搜索关键词: 承载 装置 及其 支撑
【主权项】:
1.一种支撑装置,包含:一杆体,具有相对的一第一端与一第二端,该第一端连接至一接地部;一顶掣件,位于该杆体的该第二端,其中该顶掣件远离该杆体的部分为绝缘材料;一顶针,该顶针的一部分配置于该顶掣件内,且与该接地部电性连接;及一弹性组件,置于该顶掣件内,支撑该顶针。
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