[发明专利]载物台装置

摘要

本发明的目的是能够稳定且精密地控制θ工作台的转动动作。载物台装置(10A)具有在平台(20)上移动的载物台(30)、和载置在载物台(30)上的θ工作台(40)。载物台(30)具有沿Y方向移动的Y载物台(36)、和沿与Y方向正交的X方向移动的X载物台(38)。从X载物台(38)的上面垂直立起有枢轴(80)。该枢轴(80)由未图示的螺钉螺合紧固在X载物台(38)上。在该枢轴(80)的上端安装有轴承(82)，通过该轴承(82)轴支撑θ工作台(40)和枢轴(80)，使θ工作台(40)能够向θz方向转动。此外，具备从θ工作台(40)的下面向垂下方向延伸的4根支柱(60)、和设在各支柱(60)的下端的空气垫(70)。

主权项

1、一种载物台装置，具有在平台上移动的载物台、和可与该载物台一起移动且可在该载物台上转动的θ工作台，其特征在于，包括：枢轴，在上述载物台与上述θ工作台之间垂直地立起；轴承，轴支撑上述枢轴与上述θ工作台之间、或者上述载物台与上述枢轴之间，以使上述θ工作台可相对于上述载物台转动；以及θ直线电动机，从下面侧旋转驱动上述θ工作台。