[发明专利]氮化硅涂层钢领及其制备方法无效
申请号: | 200710070442.3 | 申请日: | 2007-08-01 |
公开(公告)号: | CN101122056A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 杜平凡;王勇;姚奎鸿;席珍强;汪新颜;徐敏 | 申请(专利权)人: | 浙江理工大学 |
主分类号: | D01H7/52 | 分类号: | D01H7/52;C23C16/34;C23C16/52 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 林怀禹 |
地址: | 310018浙江省杭州市江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种氮化硅涂层钢领及其制备方法。在平面钢领的工作面上均匀沉积一层氮化硅涂层。制备方法是先对钢领工作面进行抛光和清洗处理;再将钢领放入射频等离子体增强化学气相沉积设备中,沉积面朝上,系统抽至真空,以硅烷和氨气为反应气源,在硅烷流量10~30sccm、硅烷和氨气流量比1/2~1/6、沉积温度300~600℃、射频功率80~150W的条件下,沉积10~30min停止;自然冷却,得到氮化硅涂层钢领。由于氮化硅涂层良好的耐磨和润滑性能,钢领几乎无需走熟期便可使用;钢领性能稳定、使用寿命长;有效降低纱线毛羽和断头,提高了纺纱效率,节约了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 氮化 涂层 钢领 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氮化硅涂层钢领,其特征在于:在平面钢领(1)的工作面上均匀沉积一层氮化硅涂层(2)。
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