[发明专利]非晶铌金属氧化物薄膜及其热氧化蒸镀技术无效
| 申请号： | 200710066258.1 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101397648A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 周效锋 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/26 |
| 代理公司： | 云南省曲靖市专利事务所 | 代理人： | 许永昌 |
| 地址： | 655011云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 非晶铌金属氧化物薄膜及其热氧化蒸镀技术，其中薄膜是由过渡金属铌和氧结合形成的并由一些阵列的纳米棒或纳米锥结构组成非晶状态存在的氧化物薄膜；组成中含有的阵列纳米棒或纳米锥结构，其中热氧化蒸镀技术是利用通电电阻发热原理直接使用铌片作为蒸发源的直接蒸发方法，设定在具有1.0～9.0Pa真空度的亚氧环境中，通过控制基片与源片的距离在1.5～2.5cm间，基片的温度控制在100℃～350℃温区，获得非晶结构铌金属氧化物纳米结构膜。此种薄膜经进一步处理，在光学和电学技术领域将得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶铌 金属 氧化物 薄膜 及其 氧化 技术 | ||
【主权项】：
1、一种非晶铌金属氧化物薄膜，其特征在于由过渡金属铌和氧结合形成的并由阵列的纳米棒或纳米锥结构组成非晶状态存在的氧化物薄膜。
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