[发明专利]ZnO为电绝缘与杂质阻挡层的薄膜太阳电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO为电绝缘与杂质阻挡层的薄膜太阳电池及其制备方法，利用该发明制备的金属衬底ZnO杂质阻挡层和电绝缘层，适宜于柔性光伏电池。本发明利用纯锌靶或者ZnO陶瓷靶等靶材，通过溅射法在金属衬底上沉积ZnO薄膜，通过调整Ar和O₂流量比来获得理想的ZnO薄膜，薄膜结构致密，作为杂质阻挡层对于金属衬底内的杂质具有很好的阻挡效果，作为电绝缘层具有良好的绝缘效果，用于制备柔性金属衬底电池及组件。

主权项

1、一种ZnO为电绝缘与杂质阻挡层的薄膜太阳电池，其包括轻质柔性衬底、ZnO电绝缘层和杂质阻挡层、背电极、吸收层、窗口层和前电极，其特征在于所述轻质柔性衬底是：金属材料衬底或聚合物材料衬底；衬底和背电极之间为0.8～4.0μm的ZnO电绝缘层与杂质阻挡层。