[发明专利]钇铁石榴石薄膜材料及制备方法无效
| 申请号： | 200710050194.6 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101148753A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张怀武;杨青慧;刘颖力;文岐业;李元勋;张艳霞;贾利军 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 成都惠迪专利事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 钇铁石榴石薄膜材料制备方法，涉及电子材料领域，本发明包括以下步骤：1)清洗基片表面；2)真空环境下在基片上溅射薄膜；3)微波退火薄膜材料。本发明的有益效果是，采用本发明的方法制备的材料具有结构致密、介电常数大、介电损耗耗小的优点，是应用于微波铁氧体器件中的优异材料。与常规退火的钇铁石榴石薄膜材料相比，还具有：退火时间大大降低、晶化温度降低了约100℃、磁性能优异等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 铁石 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.钇铁石榴石薄膜材料制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)清洗基片表面；2)真空环境下在基片上溅射薄膜；3)微波退火薄膜材料。
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