[发明专利]一种气相晶体生长压力自动控制系统无效
| 申请号： | 200710043841.0 | 申请日： | 2007-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN101117727A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈之战;施尔畏;肖兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B25/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气相晶体生长压力自动控制系统，属于压力控制设备与系统领域。本发明包括真空室1、进气气源2、质量流量计3、真空泵4、压力控制仪表5、自动针阀调节器6、绝对压力传感器7。进气气源2由质量流量计3控制，通过管道与真空室1相连，真空泵4通过管道一路和真空室直接相连，一路通过自动针阀调节器6和真空室相连。绝对压力传感器7与真空室1相连，压力控制仪表5按设定程序并根据绝对压力传感器7的反馈信号自动控制真空泵和自动针阀调节器6的工作。本发明线性度高，压力控制灵敏度高，波动小，可进行自动控制，特别适合小流量情况下的压力自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 压力 自动控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种气相晶体生长压力控制系统，包括真空室1、进气气源2、质量流量计3、真空泵4、压力控制仪表5、自动针阀调节器6、绝对压力传感器7，其特征在于：进气气源2由质量流量计3控制，通过管道与真空室1相连，真空泵4通过管道一路和真空室直接相连，一路通过自动针阀调节器6和真空室相连；绝对压力传感器7与真空室1相连，压力控制仪表5按设定程序并根据绝对压力传感器7的反馈信号自动控制真空泵和自动针阀调节器6的工作。
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