[发明专利]利用飞秒激光实现玻璃表面选择性金属化的方法

摘要

一种利用飞秒激光实现玻璃表面选择性金属化的方法，包括下列步骤：(1)在玻璃基底上制备硝酸银薄膜；(2)利用飞秒激光聚焦在硝酸银薄膜上直写图案；(3)去除未辐照的硝酸银薄膜；(4)置入化学镀铜液中进行化学镀铜。本发明与传统金属化方法相比具有方法更简便、制备更快速、工艺更可控的特点，在多功能芯片实验室和微器件的集成特别是电学功能和热学功能的有效集成中有着很大应用潜力和实用价值。

主权项

1.一种利用飞秒激光实现玻璃表面选择性金属化的方法，其特征在于包括下列步骤：(1)在玻璃基底上制备硝酸银薄膜：将清洗洁净的玻璃基底避光浸没在硝酸银溶液中，硝酸银溶液的浓度为：0.2～2mol/l，浸没时间为1～60min，浸没完毕室温自然干燥；(2)利用飞秒激光聚焦在硝酸银薄膜上直写图案，飞秒激光的波长为800nm，脉冲宽度为40fs，峰值功率密度为0.8×1015～16×1015W/cm2，扫描速度1～100μm/s；(3)去除未辐照的硝酸银薄膜：依次采用丙酮→酒精→蒸馏水清洗，每个溶剂清洗时间为1～10min，超声波作为清洗的辅助手段；(4)置入化学镀铜液中进行化学镀铜：化学镀铜液的成分为：成分 含量硫酸铜 2～10g/l，乙二胺四乙酸钠 10～20g/l，甲醛 2～10g/l，2-2’联吡啶 0.01～0.1g/l，聚乙二醇 0.01～0.1g/l溶液的PH值为12～13，采用1％NaOH溶液进行调节；施镀时间为1～120min，施镀温度为20～80℃。