[发明专利]一种压力传感器的温度漂移的补偿方法无效
| 申请号： | 200710038544.7 | 申请日： | 2007-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101275878A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 黄岳;王天心 | 申请（专利权）人： | 捷顶微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/04 | 分类号： | G01L19/04;G01L1/20;G01L25/00;G01L27/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器的温度漂移的补偿方法，包括该压力传感器的压力响应灵敏度关于温度的函数为S(T)；传感器在某一个压力下电阻的变化ΔR等于该压力值ΔP与传感器的压力响应灵敏度S(T)的乘积，即ΔR＝S(T)*ΔP；传感器的输出信号V(INP－INN)等于施加给传感器的激励电压VIB与传感器在该压力下电阻的变化ΔR的乘积再除以传感器在零压力下的电阻R，即V(INP－INN)＝VIB*ΔR/R＝VIB*S(T)*ΔP/R；其特征在于：压力传感器采用一恒温度系数的电压和一比例温度系数的电压的合成电压作为的激励电压，所述的激励电压对温度的补偿函数C(T)为1/S(T)≈A+B*T。本发明有效避免了压力传感器由温度变化引起的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 温度 漂移 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种压力传感器的温度漂移的补偿方法，包括该压力传感器的压力响应灵敏度关于温度的函数为S(T)；传感器在某一个压力下电阻的变化ΔR等于该压力值ΔP与传感器的压力响应灵敏度S(T)的乘积，即ΔR＝S(T)*ΔP；传感器的输出信号V(INP-INN)等于施加给传感器的激励电压VIB与传感器在该压力下电阻的变化ΔR的乘积再除以传感器在零压力下的电阻R，即V(INP-INN)＝VIB*ΔR/R＝VIB*S(T)*ΔP/R；其特征在于：压力传感器采用一恒温度系数的电压和一比例温度系数的电压的合成电压作为的激励电压，所述的激励电压对温度的补偿函数C(T)为1/S(T)。
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