[发明专利]一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液有效
| 申请号： | 200710037163.7 | 申请日： | 2007-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN101016439A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 王良咏;张楷亮;宋志棠;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光浆液，此浆液包含pH调节剂、表面活性剂、水性介质及一种复合研磨颗粒。该复合研磨粒子是由基材颗粒碳化硼表面包覆一层粒子所构成。通过本发明提供的化学机械抛光浆液，蓝宝石衬底的抛光速率达到了180nm/min，表面粗糙度降低到了7.5以下，蓝宝石的表面质量和加工效率得到了有效的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 化学 机械抛光 浆液 | ||
【主权项】：
1、一种蓝宝石化学机械抛光浆液，其特征在于所述的化学机械抛光浆液由一种复合研磨颗粒，表面活性剂，pH值调节剂和水性介质组成，其中：(a)所述的复合研磨颗粒为碳化硼表面包覆一层小粒子，包覆粒子为SiO2、γ-Al2O3、α-Al2O3，CeO2或其混合物；(b)所述的表面活性剂为阴离子型表面活性剂，选自聚氧乙烯硫酸钠、聚丙烯酸钠和或聚氧醚磷酸酯；(c)pH调节剂是浓度为0.1～2摩尔/升的H3PO4或KOH溶液；(d)复合研磨颗粒的质量百分含量为0.2～30％，表面活性剂的质量百分含量为0.01～5％，化学机械抛光浆液的pH值为1.0～7.0，余量为去离子水。
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