[发明专利]激光散斑相移检测头及其应用无效
申请号: | 200710029272.4 | 申请日: | 2007-07-20 |
公开(公告)号: | CN101093197A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 曾启林;谢雷;何仕斌;翁家雄;孙清勇 | 申请(专利权)人: | 广州华工百川科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/45;G02B27/48 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李卫东 |
地址: | 510640广东省广州市天河区五*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种激光散斑相移检测头,包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜,半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上;扩束镜设于半导体激光器前端,与半导体激光器位于同一光轴上,且扩束镜与半导体激光器连成一体;光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体,且位于同一光轴上,光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器,剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头,光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体,且位于同一光轴上;半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2°~20°。本检测头的检测结果比干涉条纹图对比度更明显,更利于缺陷判断。 | ||
搜索关键词: | 激光 相移 检测 及其 应用 | ||
【主权项】:
1、一种激光散斑相移检测头,包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜,半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上;扩束镜设于半导体激光器前端,与半导体激光器位于同一光轴上,且扩束镜与半导体激光器连成一体;光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体,且三者位于同一光轴上,其特征在于:所述光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器,剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头,所述光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体,且位于同一光轴上;所述半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2~20°。
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