[发明专利]预熔钛酸镧晶质蒸镀材料制备方法有效
| 申请号： | 200710023762.3 | 申请日： | 2007-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101200794A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 许士荣 | 申请（专利权）人： | 昆山光铭光电子元件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种制备预熔钛酸镧蒸镀材料的制备方法，首先配置钛酸镧混合氧化物粉体，按重量百分比由La2O3(8－70％)和TiO2(30－92％)组成，将该混合氧化物粉体置于真空炉冷坩锅中，在高真空(≤1×10－2Pa)下，利用高频源加热到1800℃－2500℃，形成钛酸镧熔融体，对该钛酸镧熔融体通过缓慢沉降冷却，形成预熔钛酸镧晶质蒸镀材料，对制备过程中水汽和残留气体采用冷阱捕集器捕集，深冷温度(≤－100℃)，本发明用高真空高频冷坩埚缓慢沉降长晶法制备预熔融的混合氧化物，作为蒸镀高级光学薄膜用的高纯高致密度起始材料。 | ||
| 搜索关键词： | 预熔钛酸镧晶质蒸镀 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种预熔钛酸镧晶质蒸镀材料制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：(1)配置钛酸镧混合氧化物粉体，按重量百分比由La2O3 (8-70％)和TiO2(30-92％)组成；(2)将该混合氧化物粉体置于真空炉冷坩锅中，真空压力≤1×10-2Pa，利用高频源加热到1800℃-2500℃，形成钛酸镧熔融体；(3)对该钛酸镧熔融体通过缓慢沉降冷却，形成预熔钛酸镧晶质蒸镀材料。
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