[发明专利]一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪

摘要

本发明提出了一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪，包括光纤连接器、入射狭缝、反射镜、闪耀光栅、聚焦镜和探测器等组成部分。反射镜采用微电子机械系统技术(MEMS)制作而成，其镜面可在外加信号的控制下周期性运动；闪耀光栅为色散元件，与反射镜一起构成分光光路系统。在光路设计上，待测光信号由光纤连接器引入后，经反射镜、闪耀光栅分光后，特定波长的单色光，由聚焦镜会聚进入探测器；通过反射镜镜面的周期性运动，各种波长的单色光进入探测器，完成光谱的扫描。本发明提出的基于微电子机械系统技术器件的微型光谱仪具有体积小，光谱范围广，成本低廉等优点。

主权项

1、一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪，其特征在于：包括光纤连接器(1)、入射狭缝(2)、反射镜(3)、闪耀光栅(4)、聚焦镜(5)和探测器(6)；待测光信号由光纤连接器(1)接入光谱仪，入射狭缝(2)位于光纤连接器(1)后部，光信号经由入射狭缝(2)入射到反射镜(3)上，反射镜(3)反射光信号至闪耀光栅(4)，闪耀光栅(4)将入射复色光分解成不同波长的单色光，单色光入射到聚焦镜(5)上，由聚焦镜(5)会聚并反射至探测器(6)上，探测器(6)放置于聚焦镜(5)的会聚焦点处，探测器(6)测量接收的单色光强度；反射镜(3)的镜面(8)作周期性运动，使得入射复色光在闪耀光栅(4)上的入射角度和各单色光的空间排列位置呈周期性变化，各种波长的单色光经聚焦镜(5)会聚后，依次进入探测器(6)中，实现全光谱的扫描。