[发明专利]微细结构体的制造方法、制造装置及设备无效
| 申请号： | 200710007216.0 | 申请日： | 2007-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101007367A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 尼子淳 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够以高生产率再现性良好地在被加工体表面或内部形成所希望的微细图形的微细结构体的制造方法。本发明的微细结构体的制造方法包括：采用衍射光学元件将入射激光束分支成多个衍射光束的工序；由远心透镜将所述分支后的多个衍射光束聚光而形成相互平行的衍射光束的工序；使所述相互平行的各衍射光束以各衍射光束的中心和各旋转三棱镜的中心一致的方式向多个旋转三棱镜阵列状配置而成的旋转三棱镜集合体面垂直地入射，形成多个阵列状的贝塞尔光束的工序；对被加工体照射所述多个阵列状的贝塞尔光束的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 制造 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微细结构体的制造方法，其包括：采用衍射光学元件将入射激光束分支成多个衍射光束的工序；由远心透镜将所述分支后的多个衍射光束聚光而形成相互平行的衍射光束的工序；使所述相互平行的各衍射光束以各衍射光束的中心和各旋转三棱镜的中心一致的方式向多个旋转三棱镜阵列状配置而成的旋转三棱镜集合体面垂直地入射，形成多个阵列状的贝塞尔光束的工序；对被加工体照射所述多个阵列状的贝塞尔光束的工序。
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