[发明专利]微细结构体的制造方法、制造装置及设备无效
申请号: | 200710007216.0 | 申请日: | 2007-01-25 |
公开(公告)号: | CN101007367A | 公开(公告)日: | 2007-08-01 |
发明(设计)人: | 尼子淳 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/36 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微细 结构 制造 方法 装置 设备 | ||
【权利要求书】:
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