[发明专利]用于金属表面的包含水合氧化铝研磨剂的平整化组合物无效
| 申请号： | 200680056523.1 | 申请日： | 2006-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101573420A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | I·佩特罗维克;S·马图尔 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;林柏楠 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基本上不含氧化铝并包含液体和固体的CMP研磨剂浆料，其中所述固体包含：(a)基于所述固体为至少约90重量％的至少一种具有式Al2O3·xH2O，其中x为1-3的非球形组分；和(b)基于所述固体部分为至多约1重量％的亚微α-氧化铝。该CMP研磨剂浆料可以用于抛光金属或计算机晶片中的介电表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属表面 包含 水合 氧化铝 研磨剂 平整 组合 | ||
【主权项】：
1.一种基本上不含无水氧化铝并包含液体和固体的CMP研磨剂浆料，其中所述固体包含：(a)基于所述固体为至少约90重量％的至少一种具有式Al2O3·xH2O，其中x为1-3的非球形组分，和(b)基于所述固体为至多约1重量％的亚微α-氧化铝。
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