[发明专利]用于金属表面的包含水合氧化铝研磨剂的平整化组合物无效
| 申请号： | 200680056523.1 | 申请日： | 2006-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101573420A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | I·佩特罗维克;S·马图尔 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;林柏楠 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 金属表面 包含 水合 氧化铝 研磨剂 平整 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种基本上不含无水氧化铝并包含液体和固体的CMP研磨剂浆 料，其中所述固体包含：
(a)基于所述固体为至少约90重量％的至少一种具有式Al2O3·xH2O，其 中x为1-3的非球形组分，和
(b)基于所述固体为至多约1重量％的亚微α-氧化铝。
2.根据权利要求1的CMP研磨剂浆料，其主要由所述至少一种具有 式Al2O3·xH2O，其中x为1-3的非球形组分组成。
3.根据权利要求1的CMP研磨剂浆料，其中所述非球形组分为勃姆 石。
4.根据权利要求1的CMP研磨剂浆料，其中所述非球形组分包括涂 布有勃姆石的高岭土。
5.一种平整化金属的方法，其包括以下步骤：将权利要求1的CMP 研磨剂浆料用于抛光金属。
6.根据权利要求5的方法，其中平整化在pH酸性条件下进行。
7.根据权利要求5的方法，其中将所述浆料用于抛光铜。
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