[发明专利]电弧蒸发源及真空蒸镀装置无效
| 申请号： | 200680054700.2 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101448969A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 小泉康浩;能势功一 | 申请（专利权）人： | 新明和工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 衷诚宣 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够恰当回收从真空电弧放电的阴极放出的蒸发物质的电弧蒸发源和真空蒸镀装置。电弧蒸发源(100)形成如下所述结构，即具备保持间隙(G)相互对置的第1和第2电极(14A、14B)，以第1和第2电极(14A、14B)中的至少任意一个电极作为阴极，基于阴极与所述以及之间发生的真空电弧放电，第1和第2电极(14A、14B)中的另一个电极能够回收从阴极放出的蒸发物质。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 真空 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种电弧蒸发源，其特征在于，形成如下所述结构，即具备保持间隙相互对置的第1电极和第2电极，以所述第1电极和第2电极中的至少任意一个电极作为阴极，基于所述阴极与阳极之间发生的真空电弧放电，所述第1电极和第2电极中的另一个电极能够回收从所述阴极放出的蒸发物质。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新明和工业株式会社，未经新明和工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680054700.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
