[发明专利]化学药品分离的装置及方法无效
| 申请号： | 200680052301.2 | 申请日： | 2006-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101384379A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 埃尔曼·伊茨科维茨 | 申请（专利权）人： | 固态半导体设备有限公司;埃尔曼·伊茨科维茨 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丛 芳;彭晓玲 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种处理例如硅晶片的衬底的装置和方法，其中处理化学药品或其他液体用于衬底的上表面或其他表面，继之以去离子水(“DI”)或者其他液体冲洗。所用的处理化学药品或液体与冲洗液体相分开，两种液体之间很少或没有交叉污染。装置包含一环形收集容器和旋转夹头。在化学处理过程中，液体在旋转的晶片的上表面或其他表面上基本上水平的流，并由外围的收集容器收集。一旦化学药品处理完成，收集容器向下移动至如图2所示的关闭位置。配给去离子水或者其他液体用于冲洗晶片，而不与收集在容器中的化学药品或其他液体混合。 | ||
| 搜索关键词： | 化学药品 分离 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于对晶片进行湿化学法处理的装置，包括:用于支持和旋转晶片的晶片夹头；能输送化学流体和去离子水到晶片表面的流体配送管嘴；以及一环形的收集容器，该环形收集容器沿着垂直方向的移动，能导致处于打开的位置以收集液体，或者导致处于关闭的基本上密封的位置以从收集容器中转移液体，该收集容器具有一用于收集要收集的液体的排液管。
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