[发明专利]化学药品分离的装置及方法

权利要求书

1.一种用于对晶片进行湿化学法处理的装置，包括:

用于支持和旋转晶片的晶片夹头；

能输送化学流体和去离子水到晶片表面的流体配送管嘴；以及

一环形的收集容器，该环形收集容器沿着垂直方向的移动，能导致处于打开的位置以收集液体，或者导致处于关闭的基本上密封的位置以从收集容器中转移液体，该收集容器具有一用于收集要收集的液体的排液管。

2.一种使用一种或多种处理液体对衬底进行处理以及使用冲洗液体对该衬底进行冲洗的装置，所述装置包含:

用于支持和旋转所述衬底的夹头；

能收集所述处理液体以用于回收、重复使用或其它处理的收集系统，以使所述收集的处理液体能与所述的冲洗液体基本上分离。

3.一种使用一种或多种处理液体对衬底进行处理以及使用一种或多种冲洗液体对该衬底进行冲洗的装置，所述装置包含:

用于支持和旋转所述衬底的夹头；

一种收集系统进一步包括:

基本上可垂直定位的收集容器；以及

收集容器盖，当所述收集容器处于第一位置时，所述容器是打开的以接受处理液体，而当所述收集容器处于第二位置时，所述容器是关闭的以基本上防止冲洗液体进入所述容器。

4.根据权利要求3所述的装置，进一步包括:

与所述容器液体连通的排液管，所述处理液体可以通过排液管，并可被回收，以用于在对衬底材料将来处理时重复使用，或者其它用途或处理。

5.一种用于对衬底材料处理、基本上保持处理液体和冲洗液体相分离的方法，所述衬底具有上下表面，其中所述方法包含步骤:

将所述衬底固定到旋转夹头上；

当所述处理液体被应用到所述衬底的所述上表面时，旋转所述夹头；

当收集容器处于基本上打开的位置时，收集所述处理液体到该收集容器中，该收集容器位置可变；

定位所述收集容器至基本上关闭的位置；

当所述收集容器处于基本上关闭的位置时，使用冲洗液体对所述旋转的衬底进行冲洗；以及

收集冲洗液体，以使所述处理液体与所述冲洗液体基本上不接触，所属处理液体可以在将来的衬底处理中重复使用或者处理。